氦氣檢漏法是一種常用於氣密性測試的高靈敏度檢測技術，特別適合檢測如氫氣系統、高純度氣體系統、真空設備等的微小洩漏。它利用氦氣作為檢測氣體，因為氦氣分子非常小、化學性質惰性、不易反應，且地球大氣中的氦氣含量非常低（約 5 ppm），因此適合作為洩漏檢測的示蹤氣體。
原理：
氦氣檢漏法的原理是基於使用氦氣作為追蹤氣體，並利用專門的檢漏儀器（如質譜儀）檢測洩漏點處的氦氣濃度。當氣體系統或設備存在微小洩漏時，氦氣會滲透出洩漏點，檢測儀能夠即時感知氦氣的變化，並以極高的靈敏度顯示出氦氣的濃度或洩漏速率。
測試方法：
氦氣檢漏法主要有兩種常見的測試方法：真空法（內壓） 和 壓力法（外壓）。不同方法適用於不同的設備和測試需求。
1. 真空法（內壓）：
- 原理：測試設備被抽成真空，並向外界釋放氦氣。如果設備有洩漏，氦氣會滲入真空系統，並被連接的檢漏儀（如質譜儀）檢測到。
- 步驟：
- 將被測系統或設備抽真空。
- 向設備外部環境中噴灑氦氣或將設備浸沒於氦氣中。
- 檢漏儀連接到真空系統內部，檢測是否有氦氣滲入真空腔。
- 根據儀器的讀數來判斷是否有洩漏，並定位洩漏點。
- 應用：適用於封閉系統或真空設備的氣密性檢測。
2. 壓力法（外壓）：
- 原理：將氦氣充入被測設備中，然後在設備外部使用檢漏儀探測是否有氦氣從洩漏點滲出。
- 步驟：
- 將氦氣充入被測設備，使設備內部壓力高於外部環境。
- 使用移動式氦氣檢測器（通常為手持式）在設備外表面進行檢測，尋找氦氣洩漏點。
- 如果檢測儀探測到氦氣，則說明設備存在洩漏，並可通過進一步檢測精確定位洩漏點。
- 應用：適用於壓力系統，如管道、閥門、容器的檢漏。
儀器設備：
氦氣檢漏法通常使用質譜儀作為檢漏儀器，因為質譜儀能夠精確區分和測量氦氣分子的質量（質量數為4），並具有極高的靈敏度，能檢測到極低濃度的氦氣，甚至可以探測到 10⁻⁹ mbar·L/s 的微量洩漏。
優點：
- 高靈敏度：氦氣檢漏法的靈敏度極高，能檢測到微小的洩漏，遠高於其他常見的檢漏方法。
- 快速準確：能夠快速定位洩漏點並進行精確測量。
- 無毒無害：氦氣無毒、惰性，不會對被測設備或環境造成污染或危害。
應用：
氦氣檢漏法廣泛應用於以下領域：
- 氫氣管路系統
- 高純度氣體系統（如半導體行業）
- 真空設備
- 航天工業中的氣密性檢測
- 化工設備及壓力容器
結論：
氦氣檢漏法因其高靈敏度和快速檢測的特點，成為工業中廣泛應用的檢漏方法。它在高精度要求的場景中非常有效，尤其是在氫氣、氧氣、氬氣等高危氣體系統中，能確保設備運行的安全性與氣密性。
照片中的設備是 INFICON UL1000 Fab 氦氣檢漏儀，它是一種高精度的氦氣檢漏儀器，通常用於氣密性檢測，特別是在高純度氣體系統、真空系統和工業設備中檢測極微小的氣體洩漏。旁邊的氦氣瓶是檢漏時常用的示蹤氣體。
設備介紹：
INFICON UL1000 Fab：
- 用途：這款檢漏儀器能夠快速、準確地檢測出極小的氦氣洩漏，通常在工業應用中用來檢測高壓氣體系統的密封性。
- 工作原理：使用氦質譜儀檢測氦氣洩漏，通過測量氦氣分子的質量來確定洩漏位置和洩漏速率。
- 應用領域：適用於半導體、真空設備、冷卻系統、壓縮氣體設備等需要高精度氣密性檢測的場景。
旁邊的氦氣瓶：
- 用途：氦氣作為示蹤氣體，用於氦氣檢漏儀測試。因為氦氣分子小且不易與其他物質反應，是一種理想的檢漏氣體。
真空泵：
- 用途：連接在氦氣檢漏儀上，用於抽取待測系統內部的氣體，創造真空條件，從而使得檢測過程更加精確。真空泵能幫助氦氣檢漏儀更快速檢測出微小洩漏。
總結：
此設備組合主要用於檢測工業管路、真空系統或壓力容器的氣密性，通過使用氦氣作為示蹤氣體，配合氦質譜儀的高靈敏度檢測技術，能夠精確定位洩漏點，確保系統運行的安全性和穩定性。
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