#226 進行氣體沖吹（Purge）時，幾種有效的降低噪音的方法

 在進行氣體沖吹（Purge）時，氣流快速通過管道會產生較大的噪音，這種噪音可能會對現場工作人員造成影響，甚至超過安全噪音暴露限值。因此，降低氣體沖吹過程中的噪音非常重要。以下是幾種有效的降低噪音的方法：

1. 使用消音器（Silencer）

• 原理：消音器是一種安裝在管道出口或吹掃氣體出口的設備，它通過吸收或衰減聲波來降低噪音。
• 應用：在沖吹氣體出口端安裝消音器，可以顯著減少氣流噪音。消音器內部通常包含吸音材料或結構設計，能夠有效吸收不同頻率的聲波。
• 類型：常用的消音器包括擴散型消音器和吸音型消音器。選擇合適的消音器類型可以針對不同的噪音頻率範圍進行控制。

2. 控制吹掃氣體的流量與壓力

• 原理：降低氣流的速度和壓力可以有效減少氣體沖吹過程中的噪音。噪音與氣流速度和壓力的平方成正比，適當減少這些參數可以顯著降低噪音水平。
• 應用：可以通過分段控制氣體流速和壓力，使沖吹過程更加平穩，從而減少噪音。使用閥門和流量控制器可以調節氣流的流量和壓力。

3. 選擇合適的吹掃時間和方式

• 原理：選擇在較安靜的時間進行吹掃作業，例如工作時間之外，可以降低噪音對人員的影響。同時，避免連續吹掃，分批次、間歇性吹掃也能降低瞬時噪音。
• 應用：根據實際需要，調整吹掃的時間表和方式，以減少噪音對現場人員的影響。

4. 隔音措施

• 原理：使用隔音罩或隔音牆來屏蔽噪音傳播，可以有效減少噪音對周圍環境的影響。
• 應用：在沖吹管道附近搭建臨時的隔音設施，或者使用隔音罩覆蓋主要噪音源。這種措施適合於無法直接降低噪音源強度的情況。

5. 個人防護裝備（PPE）

• 原理：在噪音較大的工作環境中，提供個人防護裝備如耳塞或耳罩，可以保護工人的聽力。
• 應用：對所有參與氣體沖吹操作的工作人員，必須配備合適的個人防護裝備，特別是在噪音超過 85 dB(A) 的情況下。

6. 使用變頻設備

• 原理：變頻設備能夠調節氣流速度和壓力，從而控制噪音水平。
• 應用：通過調節風扇或壓縮機的變頻設置，可以降低氣體沖吹時的噪音。

參考資料

• Occupational Safety and Health Administration (OSHA): 提供有關工業噪音控制和個人防護設備的指南。
• 工程和環保文獻：有關消音器和噪音控制技術的具體應用和研究。

這些方法可以單獨或結合使用，以達到最佳的噪音降低效果，確保氣體沖吹過程既有效率又符合安全標準。

#225 半導體晶片製造提及氣體

 

#224 高純度氣體管路焊接的清潔度

 確保高純度氣體管路焊接的清潔度，需要制定詳細的焊接施工流程和相應的檢查程序。以下是針對高純度氣體管路焊接的施工流程及檢查程序說明：

高純度氣體管路焊接施工流程

1. 準備階段

• 材料準備：
  • 確保所有焊接材料（如不銹鋼管、焊條等）符合項目規範的高純度要求。
  • 在無塵環境中進行材料存放和處理，防止材料受到污染。
• 設備檢查：
  • 使用經過校準的焊接設備（如自動軌道焊接機）進行焊接，確保其運行正常。
  • 檢查設備內部是否清潔無污染。
• 清潔處理：
  • 所有焊接材料的外表面及接頭部位必須進行脫脂和清洗，使用無水酒精或其他適合的清洗劑進行清洗，並用無塵布擦拭乾淨。
  • 確保焊接區域（焊口周圍約100毫米範圍內）無任何油脂、氧化物或其他污染物。

2. 焊接過程

• 氬氣保護：
  • 在焊接過程中，使用高純度氬氣（99.999% 或以上）進行內外雙面氣體保護，以防止焊縫處被氧化。
• 自動焊接：
  • 使用自動軌道焊接機進行焊接操作，確保焊接速度和溫度的穩定性，避免人工焊接可能帶來的清潔度問題。
• 無熔渣操作：
  • 保持焊接電流和速度在最佳範圍內，避免過多熔渣生成。熔渣會導致表面不潔或內部污染。
• 連續檢查：
  • 在焊接過程中進行持續的目視檢查，確保焊縫質量符合規範要求。

3. 焊後處理

• 焊縫清洗：
  • 焊接完成後，立即對焊縫進行清洗，以去除任何可能的殘留物。可以使用無水酒精或專用清洗劑。
• 酸洗鈍化：
  • 根據需要，對焊縫和受熱影響區進行酸洗和鈍化處理，以去除任何氧化物和污染物，並形成保護性的鈍化層。

4. 質量檢查

• 目視檢查：
  • 檢查焊縫表面是否光滑、無裂縫、無顆粒狀污染物附著。
• 內部檢查：
  • 使用內窺鏡（Endoscope）檢查焊縫內部的清潔度和無氧化層，特別是在高純度氣體應用中。
• 氦氣泄漏檢測（Helium Leak Test）：
  • 進行氦氣泄漏檢測，確保焊縫沒有氣體泄漏點，檢測標準為無氣泡產生或泄漏率低於設計要求。
• 水分分析：
  • 對系統進行水分分析，確保焊接後管路系統內部的水分含量達到要求標準（如小於 5 ppb）。

相應的檢查程序

1. 每日檢查：

   • 焊接前和焊接過程中，對焊接設備和氣體純度進行檢查。
   • 對所有焊接材料進行目視檢查，確保無污染物附著。

2. 過程監控：

   • 實時監控焊接過程，記錄焊接電流、電壓、氣體流量和環境條件。
   • 定期檢查焊接區域的清潔度和環境控制措施（如無塵室條件）。

3. 焊後檢測：

   • 使用內窺鏡對所有焊縫進行檢查，確保內部無污染和氧化物。
   • 進行氦氣泄漏檢測，確認無泄漏。
   • 定期進行水分含量測試，確保管道內部水分達到目標值。

這些程序將有助於確保高純度氣體管路焊接的清潔度，滿足特定應用（如半導體製造、生物製藥等）對於氣體純度的高要求。

#223 THC 通常指的是 Total Hydrocarbons，總碳氫化合物

 在氣體分析中，THC 通常指的是 Total Hydrocarbons，即總碳氫化合物。這是一個總體指標，用來表示氣體中所有碳氫化合物的濃度，這些化合物可以包括甲烷（CH₄）、乙烷（C₂H₆）、丙烷（C₃H₈）等。

在氮氣中的 THC 意義：

• 純度指標：在高純度氮氣的生產和應用中，檢測和控制 THC 的濃度是非常重要的，因為即使是微量的碳氫化合物也可能影響到某些敏感的工藝過程，特別是在半導體、電子工業和其他高精度應用中。
• 污染指標：高水平的 THC 可能表明氮氣中存在污染物，這些污染物可能來自氣體製備過程中的殘留物或外部環境的污染。

常見測量方法：

• 火焰離子化檢測器（FID）：這是一種常用的檢測 THC 的儀器，能夠靈敏地檢測氣體樣品中微量的碳氫化合物。

因此，氮氣中的 THC 代表了所有碳氫化合物的總量，通常在氣體純度測試和控制中具有重要的指標意義。

#222 水分分析儀

 

由 Tiger Optics 製造的 SPARK 系列水分分析儀。這種分析儀通常使用**可調諧二極管激光吸收光譜技術（TDLAS）**來檢測氣體中的水分含量，特別是在超高純度氣體應用中，如半導體製造或高精度工業應用。

主要特點：

1. 測量模式（Measure Mode）：照片顯示該儀器正在測量氧氣中的水分含量，讀數為 89.37 ppbv（十億分之一體積比），即每十億份氧氣中有 89.37 份水分。

2. 高靈敏度：這類型的分析儀具有極高的靈敏度，能夠檢測到非常微量的水分，通常在 ppbv 等級，這對於要求極高純度的氣體管路系統尤為重要。

3. 激光參數：

   • Laser Current：91.82 mA
   • Laser Temperature：21.8°C
   • Ringdown Time (RD Time)：169.19 µs

   這些參數與激光運行相關，顯示出分析儀在進行水分檢測時的激光性能。

4. 應用領域：Tiger Optics 的 SPARK 系列分析儀常被用於檢測氧氣、氮氣、氫氣、氬氣和其他高純度氣體中的痕量水分，適合應用於半導體工業、石化行業和高精度實驗室中。

5. 優勢：

   • 無需消耗品：使用 TDLAS 技術的分析儀不需要更換傳感器或其他消耗品，這減少了維護成本。
   • 快速響應：該儀器能夠快速測量水分變化，對於需要即時監測的應用來說非常理想。

總結：

這台 Tiger Optics SPARK 系列分析儀是一種高精度、高靈敏度的儀器，專為檢測超高純度氣體中的痕量水分而設計。它的應用範圍廣泛，特別適合那些要求極高純度的工業和科研應用。