確保高純度氣體管路焊接的清潔度，需要制定詳細的焊接施工流程和相應的檢查程序。以下是針對高純度氣體管路焊接的施工流程及檢查程序說明：
高純度氣體管路焊接施工流程
1. 準備階段
- 材料準備：
- 確保所有焊接材料（如不銹鋼管、焊條等）符合項目規範的高純度要求。
- 在無塵環境中進行材料存放和處理，防止材料受到污染。
- 設備檢查：
- 使用經過校準的焊接設備（如自動軌道焊接機）進行焊接，確保其運行正常。
- 檢查設備內部是否清潔無污染。
- 清潔處理：
- 所有焊接材料的外表面及接頭部位必須進行脫脂和清洗，使用無水酒精或其他適合的清洗劑進行清洗，並用無塵布擦拭乾淨。
- 確保焊接區域（焊口周圍約100毫米範圍內）無任何油脂、氧化物或其他污染物。
2. 焊接過程
- 氬氣保護：
- 在焊接過程中，使用高純度氬氣（99.999% 或以上）進行內外雙面氣體保護，以防止焊縫處被氧化。
- 自動焊接：
- 使用自動軌道焊接機進行焊接操作，確保焊接速度和溫度的穩定性，避免人工焊接可能帶來的清潔度問題。
- 無熔渣操作：
- 保持焊接電流和速度在最佳範圍內，避免過多熔渣生成。熔渣會導致表面不潔或內部污染。
- 連續檢查：
- 在焊接過程中進行持續的目視檢查，確保焊縫質量符合規範要求。
3. 焊後處理
- 焊縫清洗：
- 焊接完成後，立即對焊縫進行清洗，以去除任何可能的殘留物。可以使用無水酒精或專用清洗劑。
- 酸洗鈍化：
- 根據需要，對焊縫和受熱影響區進行酸洗和鈍化處理，以去除任何氧化物和污染物，並形成保護性的鈍化層。
4. 質量檢查
- 目視檢查：
- 檢查焊縫表面是否光滑、無裂縫、無顆粒狀污染物附著。
- 內部檢查：
- 使用內窺鏡（Endoscope）檢查焊縫內部的清潔度和無氧化層，特別是在高純度氣體應用中。
- 氦氣泄漏檢測（Helium Leak Test）：
- 進行氦氣泄漏檢測，確保焊縫沒有氣體泄漏點，檢測標準為無氣泡產生或泄漏率低於設計要求。
- 水分分析：
- 對系統進行水分分析，確保焊接後管路系統內部的水分含量達到要求標準（如小於 5 ppb）。
相應的檢查程序
每日檢查：
- 焊接前和焊接過程中，對焊接設備和氣體純度進行檢查。
- 對所有焊接材料進行目視檢查，確保無污染物附著。
過程監控：
- 實時監控焊接過程，記錄焊接電流、電壓、氣體流量和環境條件。
- 定期檢查焊接區域的清潔度和環境控制措施（如無塵室條件）。
焊後檢測：
- 使用內窺鏡對所有焊縫進行檢查，確保內部無污染和氧化物。
- 進行氦氣泄漏檢測，確認無泄漏。
- 定期進行水分含量測試，確保管道內部水分達到目標值。
這些程序將有助於確保高純度氣體管路焊接的清潔度，滿足特定應用（如半導體製造、生物製藥等）對於氣體純度的高要求。
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