#302 XCDA （極潔乾燥空氣）

 在工業氣體或半導體相關系統中，「XCDA」常見的意思是：

XCDA = eXtremely Clean Dry Air（極潔乾燥空氣）

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✅ XCDA 的功用如下：

1. 設備與管線的吹掃與乾燥

   • 用來置換濕氣與微粒，特別在開機、關機或維護後。

   • 確保系統乾燥、無污染，特別是在供應高純氣體前的清潔步驟。

2. 維持正壓保護

   • 在閒置或待機狀態下，提供微正壓，防止外界污染（如微粒、濕氣）進入系統。

   • 特別常用在儀器分析箱、閥箱（Valve Box）或氣體機櫃（Gas Cabinet）。

3. 保護分析儀器與元件

   • 用於分析儀外殼或光學設備內部的吹掃，避免濕氣或有害氣體影響儀器穩定性。

4. 製程環境清潔控制

   • 在無塵室製程中，用來作為局部環境（如Load Port、EFEM）中的潔淨氣源。

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🧪 XCDA 的特性：

特性	說明
來源	一般由壓縮空氣經過多層過濾與乾燥製成
濕度	-70°C 以下露點（非常乾燥）
潔淨等級	類似 N₂ Purge 級，ISO Class 1~3 等級
成本	低於氮氣，但潔淨度比一般乾燥空氣高

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📌 小結：

XCDA 是在製程中提供潔淨、乾燥、無油氣的空氣，用於吹掃、保護、置換等用途，是成本較低但潔淨度高的氣源替代方案。

如果你想知道你們工廠內 XCDA 的產線、分佈或是實際接點位置，也可以提供管線圖，我可以幫你標示分析。