#310 Entegris 氮氣純化器

 Entegris 氮氣純化器型號 GPS8-MGT10K-N-1086，屬於 MegaTorr® PS8 系列 的自動再生型氮氣純化器，專為半導體、資料儲存、平面顯示器、LED 和太陽能等高純度氣體應用設計。​puregasproducts.com+5安捷利斯+5安捷利斯+5

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🔧 運作原理與技術特色

此設備採用雙吸附塔設計，兩個吸附器交替運作：一個進行氣體純化，另一個進行再生。再生過程中，使用經純化的氮氣與低濃度氫氣的混合氣體，在高溫下反沖洗吸附劑，移除吸附的雜質，實現連續不間斷的純化流程。​安捷利斯

主要技術特點包括：

• 雙吸附塔交替運作：​確保氣體純化與吸附劑再生同步進行，實現連續運作。

• 自動再生功能：​無需人工干預，降低操作成本。

• 高效雜質去除：​能將水分（H₂O）、氧氣（O₂）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO₂）和氫氣（H₂）等雜質濃度降至低於 1 ppb。

• 高流量處理能力：​處理流量可達 833,333 slpm（50,000 Nm³/hr），適用於大規模氣體需求。

這設備使用的是 熱再生雙塔吸附系統，其再生機制需以下條件：

元件	作用
氫氣（H₂）	用來與吸附劑上的氧氣和氧化性雜質反應（如 O₂、H₂O、CO₂），將這些雜質還原成可排放的氣體（水、CO 等），清潔吸附劑，恢復其純化能力。
加熱器	將再生氣體加熱至高溫（約 300~400°C）以加速反應與脫附效果。
純化氮氣	作為載氣，同時也避免系統氧化。

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氫氣使用特點：

• 通常是 0.5%~5% 的氫氣濃度混合於氮氣中（稱為再生氣或 forming gas）。

• 氫氣用量相對少，僅在再生循環時使用，不會進入最終純化氮氣輸出。

• 設備內建 氫氣混合控制站（Hydrogen Mixing Station），確保安全供應與比例控制。

• 設有高溫保護與安全互鎖機制，避免氫氣過量或點燃風險。

附記:

若廠內沒有氫氣系統，但要使用像 Entegris GPS8-MGT10K-N-1086 這類需要氫氣再生的氮氣純化器，有幾種實務解決方案可供考慮：

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方案一：建置小型氫氣鋼瓶供應系統（局部供應）

項目	說明
方式	使用高壓氫氣鋼瓶（或 forming gas，如5% H₂ in N₂）配合壓調系統供應氫氣至純化器。
設備需求	鋼瓶、調壓閥、安全洩壓閥、流量計、氫氣管線、氣體偵測器、防爆電器。
優點	成本較低、施工快速、不需全廠建系統。
缺點	每週或每月需更換鋼瓶，屬操作與安全管理挑戰。

適用情況：使用量不大（如只支援 1~2 台純化器），並能接受定期更換鋼瓶。

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方案二：採用內建氫氣混合站的封閉型模組

項目	說明
方式	購買含**預混成分氣體 forming gas（例如5%H₂/95%N₂）**的封閉模組，直接使用混合氣進行再生。
優點	不需現場高純氫氣源，降低防爆等設計負擔。
缺點	氣體成本高，且仍須妥善儲存與監控成分氣。

有些 Entegris 機種支援「forming gas」再生，可事前確認。

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方案三：選擇不需氫氣再生的氮氣純化器

項目	說明
方式	改選「非再生型」或「常溫吸附型」氮氣純化器，如一次性吸附柱（Cartridge）、PSA 系統、膜分離型設備等。
優點	無需氫氣與加熱系統，安全性高。
缺點	吸附劑需定期更換或處理；部分純度與流量受限。

適合低至中等純度要求（如 99.999%）。

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方案四：外包純化氮氣供應

項目	說明
方式	與第三方工業氣體供應商合作，採購現成的 UHP N₂ 氣源（瓶裝或液態）。
優點	完全無需建置純化設備或氫氣系統。
缺點	長期成本高，對流量與調度依賴外部供應。

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建議評估流程：

1. 確認再生氣需求量與純化器使用頻率

2. 廠內安全等級與防爆分區（是否 Class 1 Div 2）

3. 是否已有其他用氫設備可共用氣源

4. 未來產線是否有擴建需求，可一次導入完整系統