#296 超高純氫氣的partical要求

 

該要求通常依據國際潔淨氣體標準（如 ISO 14644、ASTM 標準）或行業規範（如 SEMI F20）。

$\leq 0.1 \, \mu m$ 和 $\leq 5 \, \text{pcs/m}^3$ 是典型的超高純氣體（Ultra High Purity Gas, UHP）等級要求，代表幾乎無粒子污染。

(1) 氫氣純化系統

1. 過濾設備：

   • 安裝超高效微粒空氣過濾器（HEPA）或納米過濾器，過濾精度至少達到 $0.1 \, \mu m$。
   • 一般安裝在氫氣輸送管道的進口與出口，確保流入和輸出的氣體潔淨。

2. 吸附劑與催化劑：

   • 使用吸附劑（如分子篩）去除可能附帶的顆粒污染。
   • 在高溫環境下，催化劑可分解污染物（如有機物），防止形成微粒。

(2) 氣體輸送與儲存

1. 材料選擇：

   • 使用拋光不鏽鋼管（如316L），內表面粗糙度（Ra）應低於 $0.25 \, \mu m$。
   • 確保管道內壁光滑，避免微粒沉積。

2. 潔淨操作與連接件：

   • 使用超高純度氣體適用的接頭（如 VCR 或 UHP 級接頭），避免微粒污染。
   • 安裝高潔淨度的閥門和密封件，防止內部污染源釋放粒子。

(3) 生產與安裝環境

1. 潔淨環境：

   • 生產和維護過程應在符合 ISO 14644 等級的潔淨室中進行（如 Class 1 或 Class 10）。
   • 操作人員應穿戴無塵服，避免外部粒子進入系統。

2. 檢測與驗證：

• 在生產和安裝完成後，對系統進行粒子測試，確保氣體中粒子含量符合要求。

測試與驗證

(1) 粒子測試設備

1. 激光粒子計數器（Laser Particle Counter）：

   • 可檢測 $0.1 \, \mu m$ 的粒子。
   • 將氣體樣本輸入測試室，檢測粒子數量和粒徑分佈。

2. 氣體質量分析儀（Gas Quality Analyzer）：

   • 可分析氣體中的雜質，包括固體微粒。

(2) 測試流程

1. 取樣點設置：

   • 在輸送管道的關鍵位置（如氣體出口或用戶端入口）設置取樣點。
   • 通過潔淨閥門取樣，避免取樣過程中引入污染。

2. 數據驗證：

   • 將測試結果與要求標準對比，確保符合 $\leq 0.1 \, \mu m$，$\leq 5 \, \text{pcs/m}^3$。