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2024年10月22日 星期二

#256 IQC設備

 在氣體管路工程中,IQC 設備H2O、O2、Ar、N2 分析儀通常設置在以下位置:

  1. 入口點:位於氣體進入管路系統的地方,用於檢查氣體的初始質量。
  2. 關鍵節點:如純化器前後、混合器或分配器之前,以便監控不同工藝階段的氣體質量。

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PH2中的 CH4, CO2, NMHC的來源為何? 如何檢測出?

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