#192 將氮氣純化至電子級（例如：水分低於10 ppb）的程序

 將氮氣純化至電子級（例如：水分低於10 ppb）的程序如下：

1. 初步凈化

機械過濾

• 過程：使用機械過濾器去除大顆粒和雜質。
• 目標：確保進入後續系統的氣體基本潔淨。

碳過濾器

• 過程：使用活性炭過濾器去除有機物和油類雜質。
• 目標：進一步去除可能存在的有機污染物。

2. 低溫冷凝

低溫冷凝塔

• 過程：將氮氣冷卻至極低溫，使水分和其他雜質凝結成液體或固體。
• 目標：通過冷凝去除水分和重質雜質。

3. 變壓吸附 (Pressure Swing Adsorption, PSA)

PSA系統

• 過程：利用吸附劑（如分子篩或活性氧化鋁）在高壓下吸附氮氣中的氧氣和水分，然後在低壓下釋放吸附的雜質。
• 目標：大幅降低氮氣中的水分和氧氣含量。

雙塔系統

• 過程：交替吸附和再生，確保連續供氣。
• 目標：確保純化過程的連續性和穩定性。

4. 變溫吸附 (Temperature Swing Adsorption, TSA)

TSA系統

• 過程：利用吸附劑在低溫下吸附氮氣中的雜質，然後在高溫下脫附。
• 目標：進一步去除殘留的水分和其他微量雜質。

吸附柱再生

• 過程：通過加熱和吹掃再生吸附柱，使其恢復吸附能力。
• 目標：保持吸附劑的高效工作狀態。

5. 深冷分離 (Cryogenic Distillation)

深冷蒸餾塔

• 過程：將氮氣冷卻至液態並進行分餾，利用各組分的沸點差異進行分離。
• 目標：分離出氧氣和其他殘留雜質，進一步提純氮氣。

6. 最終凈化

超高純氮氣凈化器

• 過程：使用超高純氮氣凈化設備（如金屬催化劑凈化器）去除殘留的痕量雜質。
• 目標：達到電子級氮氣的純度要求。

超細過濾

• 過程：使用超細過濾器（如0.003微米過濾器）去除最微小的顆粒和液滴。
• 目標：確保氮氣的顆粒物含量極低。

7. 在線監測

水分分析儀

• 過程：使用高靈敏度水分分析儀（如電解式水分分析儀或激光水分分析儀）進行在線監測。
• 目標：確保水分含量低於10 ppb。

雜質監測

• 過程：使用多種在線分析儀器，監測氮氣中的氧氣、氫氣、一氧化碳和其他雜質含量。
• 目標：保證氮氣的各項指標達到電子級標準。

通過上述步驟，可以有效地將氮氣純化至符合電子級標準的純度，滿足高科技領域中的應用需求。