電熱式PCDA(Photo area Clean Dry Air)乾燥機是一種用於半導體製造和其他高科技應用中的空氣乾燥設備。其主要構成包括以下幾個部分:
1. **壓縮機(Compressor)**:
- 將環境空氣壓縮到所需的壓力水平,以便進入乾燥過程。
2. **預過濾器(Pre-filters)**:
- 在空氣進入乾燥機之前去除大顆粒和污染物,保護乾燥機內部組件。
3. **冷卻器(Aftercooler)**:
- 冷卻壓縮空氣,使水分凝結成液態,便於後續去除。
4. **排水器(Drain)**:
- 排除冷卻過程中凝結的水分,防止進一步的水分進入乾燥過程。
5. **吸附柱(Adsorption Columns)**:
- 包含吸附劑(例如分子篩、活性炭或硅膠),這些材料可以有效吸附空氣中的水分和其他污染物。
- 通常由兩個或多個吸附柱組成,進行交替操作,一個進行吸附,另一個進行再生。
6. **加熱器(Heater)**:
- 用於再生吸附柱中的吸附劑。加熱器通過加熱吸附劑,使其釋放吸附的水分和污染物,恢復吸附能力。
- 加熱器可以是電加熱器或其他形式的加熱設備。
7. **再生空氣冷卻器(Regeneration Air Cooler)**:
- 將再生後的吸附劑冷卻到工作溫度,使其準備好再次使用。
8. **後過濾器(After-filters)**:
- 去除乾燥空氣中可能殘留的微小顆粒和雜質,確保輸出的乾燥空氣達到潔淨要求。
9. **露點監控器(Dew Point Monitor)**:
- 監測乾燥後空氣的露點,確保其達到設定的乾燥標準。
10. **控制系統(Control System)**:
- 自動化控制乾燥機的運行,包括壓縮、冷卻、吸附、再生等過程,確保系統高效運行。
這些組件共同協作,以確保提供高質量、低露點的乾燥空氣,滿足高科技應用對空氣質量的嚴格要求。
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