Entegris 氮氣純化器型號 GPS8-MGT10K-N-1086，屬於 MegaTorr® PS8 系列 的自動再生型氮氣純化器，專為半導體、資料儲存、平面顯示器、LED 和太陽能等高純度氣體應用設計。puregasproducts.com+5安捷利斯+5安捷利斯+5
🔧 運作原理與技術特色
此設備採用雙吸附塔設計，兩個吸附器交替運作：一個進行氣體純化，另一個進行再生。再生過程中，使用經純化的氮氣與低濃度氫氣的混合氣體，在高溫下反沖洗吸附劑，移除吸附的雜質，實現連續不間斷的純化流程。安捷利斯
主要技術特點包括：
-
雙吸附塔交替運作：確保氣體純化與吸附劑再生同步進行，實現連續運作。
-
自動再生功能：無需人工干預，降低操作成本。
-
高效雜質去除：能將水分（H₂O）、氧氣（O₂）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO₂）和氫氣（H₂）等雜質濃度降至低於 1 ppb。
-
高流量處理能力：處理流量可達 833,333 slpm（50,000 Nm³/hr），適用於大規模氣體需求。
這設備使用的是 熱再生雙塔吸附系統，其再生機制需以下條件：
| 元件 | 作用 |
|---|---|
| 氫氣（H₂） | 用來與吸附劑上的氧氣和氧化性雜質反應（如 O₂、H₂O、CO₂），將這些雜質還原成可排放的氣體（水、CO 等），清潔吸附劑，恢復其純化能力。 |
| 加熱器 | 將再生氣體加熱至高溫（約 300~400°C）以加速反應與脫附效果。 |
| 純化氮氣 | 作為載氣，同時也避免系統氧化。 |
氫氣使用特點：
-
通常是 0.5%~5% 的氫氣濃度混合於氮氣中（稱為再生氣或 forming gas）。
-
氫氣用量相對少，僅在再生循環時使用，不會進入最終純化氮氣輸出。
-
設備內建 氫氣混合控制站（Hydrogen Mixing Station），確保安全供應與比例控制。
-
設有高溫保護與安全互鎖機制，避免氫氣過量或點燃風險。
若廠內沒有氫氣系統，但要使用像 Entegris GPS8-MGT10K-N-1086 這類需要氫氣再生的氮氣純化器，有幾種實務解決方案可供考慮：
方案一：建置小型氫氣鋼瓶供應系統（局部供應）
| 項目 | 說明 |
|---|---|
| 方式 | 使用高壓氫氣鋼瓶（或 forming gas，如5% H₂ in N₂）配合壓調系統供應氫氣至純化器。 |
| 設備需求 | 鋼瓶、調壓閥、安全洩壓閥、流量計、氫氣管線、氣體偵測器、防爆電器。 |
| 優點 | 成本較低、施工快速、不需全廠建系統。 |
| 缺點 | 每週或每月需更換鋼瓶，屬操作與安全管理挑戰。 |
適用情況：使用量不大（如只支援 1~2 台純化器），並能接受定期更換鋼瓶。
方案二：採用內建氫氣混合站的封閉型模組
| 項目 | 說明 |
|---|---|
| 方式 | 購買含**預混成分氣體 forming gas（例如5%H₂/95%N₂）**的封閉模組，直接使用混合氣進行再生。 |
| 優點 | 不需現場高純氫氣源，降低防爆等設計負擔。 |
| 缺點 | 氣體成本高，且仍須妥善儲存與監控成分氣。 |
有些 Entegris 機種支援「forming gas」再生，可事前確認。
方案三：選擇不需氫氣再生的氮氣純化器
| 項目 | 說明 |
|---|---|
| 方式 | 改選「非再生型」或「常溫吸附型」氮氣純化器，如一次性吸附柱（Cartridge）、PSA 系統、膜分離型設備等。 |
| 優點 | 無需氫氣與加熱系統，安全性高。 |
| 缺點 | 吸附劑需定期更換或處理；部分純度與流量受限。 |
適合低至中等純度要求（如 99.999%）。
方案四：外包純化氮氣供應
| 項目 | 說明 |
|---|---|
| 方式 | 與第三方工業氣體供應商合作，採購現成的 UHP N₂ 氣源（瓶裝或液態）。 |
| 優點 | 完全無需建置純化設備或氫氣系統。 |
| 缺點 | 長期成本高，對流量與調度依賴外部供應。 |
建議評估流程：
-
確認再生氣需求量與純化器使用頻率
-
廠內安全等級與防爆分區（是否 Class 1 Div 2）
-
是否已有其他用氫設備可共用氣源
-
未來產線是否有擴建需求，可一次導入完整系統
